Technologie Hochintegrierter Schaltungen - Prijzen

Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunAchst sehr ausfA1/4hrlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, A"tz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele fA1/4r die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Proz...

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Technologie Hochintegrierter Schaltungen
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