Das Buch geht zunächst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen
Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik. Hier wird auch auf die Basis-/Substratmaterialien eingegangen, wozu beispielsweise die Herstellung von Silizium...
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