In this book, stress dependent thermal wet oxide growth process is described. The oxidation rate of silicon is function of the crystal orientation and the angle of the plane intersection. The silicon surface micromachining processes are described to make a freestanding mechanical structure and unique three-dimensional features. A bulk micromachining and etchant has to be considered during microfabrication.Schematic and SEM micrograph described as...
De Fundamental of micro/nano fabrication is een populaire optie . Esy heeft 1 prijs gevonden, de goedkoopste keuze is volgens ons Bol, maar bekijk de andere aanbieders om het zeker te weten. Links openen in een nieuwe tabblad. Bekijk hier onder de product specificaties. Meer product informatie beschikbaar bij Bol.
Fundamental of micro/nano fabrication is onder andere te koop bij: Bol. Esy raadt altijd aan om meerdere aanbieders te bekijken om geen last minute deals mis te lopen.